近日，华虹半导体有限公司(以下简称“华虹半导体”)正式在科创板挂牌上市。根据 IC Insights 发布2021年度全球晶圆代工企业的营业收入排名数据，华虹半导体位居第六位，也是中国大陆最大的专注特色工艺的晶圆代工企业。作为华虹半导体的“老朋友”，多年来，美埃科技很荣幸为华虹半导体尖端制程环境保驾护航。

　　华虹半导体在半导体制造领域拥有超过25年的技术积累，长期坚持自主创新，不断研发并掌握了特色工艺的关键核心技术。华虹半导体不靠制程取胜，而是专注于成熟制程领域的特色工艺。华虹半导体所走的特色工艺模式，则是不完全依赖晶体管尺寸的缩小，而是通过优化结构与制造工艺，更大程度地发挥不同器件的物理特性，聚焦产品性能及可靠性。

　　随着半导体制程技术的飞速发展，芯片线宽已经进入纳米级，相应的产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，因此半导体净化工程洁净室内系统的运行状态对硅芯片品质和通过率的影响举足轻重。

　　且半导体制程复杂，对气态分子污染物(AMC)敏感的区域比较多，而AMC会危害生产工艺关键环节，造成半导体晶体表面的氧化和侵蚀，引起成品合格率降低，因此，AMC的控制技术已经成为半导体良率提升的必要手段。

　　美埃科技深耕布局半导体赛道二十余年，为华虹半导体生产车间提供尖端制程解决方案，助力打造精准化、低能耗的半导体洁净室，以满足行业对技术革新的需求，不断提高产品良率。

　　美埃科技为华虹半导体提供的洁净产品分别为：风机过滤单元(FFU)、设备端风机过滤单元(EFU)及化学过滤器。利用FFU独立性的结构特点，可随时调整，弥补洁净室机动性能不足，从而纠正了生产工艺不宜调整的缺点，且可以有效的节省空间，解决洁净室吊顶顶端维修空间狭小的问题。更由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。因此即使风口安装存在泄漏，也是洁净室向静压箱泄漏，不会形成对洁净室的污染，使得密封变得很简单而且安全。美埃科技FFU系统节能显著，从而解决了空调机房庞大、空调机组运行费用增高的集中送风的缺点。

　　针对日益进步的半导体制程及工艺，AMC的数量及浓度均有数量级的增加，为了匹配更加严格且精确的控制要求，美埃科技提出化学过滤器覆盖率预模拟及洁净室浓度演算，精确控制洁净室AMC浓度，并更大程度降低使用成本。同时在半导体洁净室内AMC的浓度控制方面，实施了高效的测试及监控程序，结合有效的定期定点的AMC监测，通过分析化学过滤器前后浓度，确保化学过滤器的过滤性能稳定。

　　半导体产业是推动信息技术演进的基础，是现代经济社会发展的重要支撑。作为客户的智囊团，美埃科技从产品研发到生产制造都遵循严格的标准，产品全生命周期的精益管理更是荣获行业认可。在今后的路途中美埃科技将会把肯定化为动力，用不断前行的姿态实现着“超越客户预期”的目标。