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设备端自带风机过滤单元
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1
产品描述
参数
产品特点：
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布局可自由变更 |
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洁净度可自由选择 |
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单台风速可调节 |
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低噪音 |
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超薄特性，易于安装，可集成化学过滤器 |
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可应对各种规模的洁净室生产设备 |
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控制系统可连接设备机台+厂务系统 |
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应用领域：
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