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案例篇|助力国家集成电路产业腾飞,美埃在行动

  • 发布时间:2021-08-17

【概要描述】美埃成功中标上海华力化学过滤器替换项目。

案例篇|助力国家集成电路产业腾飞,美埃在行动

【概要描述】美埃成功中标上海华力化学过滤器替换项目。

  • 分类:应用案例
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  • 发布时间:2021-08-17 10:35
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  近期,美埃凭借在洁净空气领域深耕多年的优秀成绩,成功中标上海华力化学过滤器替换项目。

  项目应用背景

  上海华力集成电路制造有限公司是上海华虹(集团)有限公司下属骨干企,总投资387亿人民币,以建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线,工艺将覆盖28-14纳米技术节点。此项目对上海落实国家集成电路产业发展任务,乃至对国家建立创新能力不断提高、产业规模不断扩大的集成电路产业体系具有重要意义。

图片源于网络,联系可删除

  项目需求特点

  集成电路作为现代工业的基石,对生产环境的要求较为苛刻。因为集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子浓度有关,所以为了保证集成电路的高速发展,在生产环境中不仅需要控制空气中粒子的尺寸,还需要控制空气中的粒子个数。

  为解决此类问题,提升产品良率,上海华力集成电路制造有限公司向美埃采购Puro-F化学过滤器、Puro-T化学过滤器 。

  化学过滤器产品

  Puro-F化学过滤器

  Puro-F系列产品是一款适用于FFU的化学过滤器。它提供优良的气态分子污染物(AMC)去除效率,同时,它可以搭配不同配方的化学过滤滤材,达到去除AMC(SEMI F21-1102的气态污染物分类)的效果。

  Puro-F化学过滤器可应用于半导体领域前半段制程的AMC控制,以及后端封测等制程的腐蚀、污染与AMC控制。

  Puro-T化学过滤器

  Puro-T系列是一种被设计成根据不同的需求来改善空气质量的化学过滤器。它能够结合不同种类的滤料特点来增加系统的价值。Puro-T系列可以安装在MAU(进气单元)或RAU(回风单元)。

  Puro-T化学过滤器可应用于半导体领域前半段制程的AMC控制,后端封测等制程的腐蚀、污染与AMC控制。同时在商业大厦、办公楼、公共建筑上可进行腐蚀控制和空气质量的控制,以及工业生产过程中的腐蚀、污染控制等领域。

  美埃空气净化解决方案

  随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。一般而言,当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成为了破坏性微粒,对集成电路的制造产生影响。因此,集成电路产业链几乎所有的主要环节,从单晶硅片制造、到 IC 制造及封装,都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。

  美埃为此打造专业的洁净厂房,以达到集成电路制造环境的高要求,提升产品良率!

  外部空气经过多级别空气过滤器逐级过滤后进入洁净室的内部循环系统。此后通过风机过滤单元搭配高效/超高效过滤器和选配的化学过滤器将洁净的空气以稳定的层流送至洁净室内部,通过风机过滤单元的不间断运转维持工作区域稳定的洁净度。在特定的设备或更高洁净度要求的工作区域,通过净化棚搭配 EFU在洁净室内部对空气进一步净化,达到局部更高级别的洁净度。

  为继续提升产业技术,美埃投入近千万元的化学实验室,具备材料分析和采样分析能力,可进行阻力测试、初始效率测试、VOCs释气分析、发尘量分析,是行业内的标杆。二十一世纪是信息技术飞速发展的时代,大到人工智能技术,小到一块存储器,各行业发展都离不开集成电路技术,美埃以在洁净空气领域深耕多年的经验积累,助力国家集成电路产业腾飞!

 

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