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应用篇美埃FFU | 芯片制造环境与工艺良品率

  • 发布时间:2021-08-21

【概要描述】为半导体极端制程环境保驾护航。

应用篇美埃FFU | 芯片制造环境与工艺良品率

【概要描述】为半导体极端制程环境保驾护航。

  • 分类:应用案例
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  • 发布时间:2021-08-21 11:00
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  这波德尔塔疫情已渐入尾声,初秋渐渐到来,叠映在忙碌的时光里,细耕耘,喜收获,近日频频迎来多个项目中标喜讯。

  今日分享:洁净房事业部再传来捷报,美埃凭借着有竞争力产品、创新的技术和体系完整的服务,再次牵手华虹集成电路有限公司,为其创新中心项目提供FFU自带风机过滤机组。

  在关键核心技术和“卡脖子”领域,中国正在全力打造集成电路创新高地和集成电路产业快速发展,在芯片制造领域,中芯国际、华虹集团年销售额在国内位居前两位,14纳米和28纳米先进工艺已分别实现了量产。美埃有幸为国内芯片行业龙头企业做配套服务,提供末端洁净设备。

  洁净室环境直接影响芯片制程工艺良品率。

  芯片的制造要用到数百个步骤,整个过程中温度、空气洁净度受到非常严格的控制,在这种环境的无尘室,通过各种机械设备,将晶圆片不断的流转进行加工,经过严格的制程和严格的无尘环境下完成封装芯片。众所周知,空气中本就充满尘埃,细小到肉眼不可见,但是这些尘埃如落在生产芯片的环境中,对于每一个晶体管的体积它就是很大颗粒了,在制程中尘埃或者污染物落到晶圆上,会造成芯片的短路及烧损等其他不良。

  因此保证芯片的高良率,就要保护它的高生产环境和洁净度!

  洁净室中的FFU扮演什么角色?

  FFU全称:自带风机过滤机组(Fan Filter Unit) 是由高效过滤器或超高效过滤器、风机、壳体等其他零部件组合而成的洁净室系统末端,其用于乱流及层流洁净室内。

  FFU的洁净方式:可以实现空气洁净度等级要求在ISO1-ISO8之间的洁净室。洁净室的空气是由FFU从洁净室上技术夹层中送进洁净室内,并通过回风夹道将循环空气再送回到技术夹层。

  FFU 常规设计:多种机体材质可选,镀铝锌钢板&不锈钢钢板&铝板。

  现场安装图

  FFU产品特点:

  FFU控制系统:【手动五档调速、手动无极调速、多台分组群控、多台触屏控制】及FLONET管理系统,美埃的群控系统兼容性强,操作简单,在其他客户应用上已有群控万台以上的经验,帮客户更有效的管理产品在运行中的状态,及时反馈和处理。

  AC EC 控制系统

  单组手动五档和无极调速

  分组群控系统

  多台FFU分组群控柜

  多台FFU触摸屏控制

  MayAir FLONET 群控管理系统

  FFU群控系统在线监测

  现代半导体产业飞速发展,对洁净室的空气洁净度等级要求将越来越高。美埃拥有20年高等级净化领域经验,凭借高效过滤器、超高效过滤器技术的成熟,FFU系统理论的提高和实际应用经验的积累和严格的生产制程质量要求,使得FFU系统可满足ISO1-ISO8空气洁净等级的洁净室使用要求的同时,为将来洁净室的升级安排上提供了更好的方向。

  净化产品成就洁净环境,带来良好品质,最好的关系莫过于彼此成就,为洁净室洁净行业贡献美埃之力。

 

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