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应用篇 | EFU设备的应用介绍

  • 发布时间:2021-08-25

【概要描述】美埃为末端净化提供产品及服务。

应用篇 | EFU设备的应用介绍

【概要描述】美埃为末端净化提供产品及服务。

  • 分类:应用案例
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  • 发布时间:2021-08-25 15:57
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  近年来伴随着面板及半导体行业的飞速发展,洁净室及微环境设备对末端净化的需求量越来越大,要求也越来越高。其中,设备端风机过滤器单元EFU,近几年进入大家的视野。约五年前,大部分EFU都是随机台设备从国外进口,交期长、价格高,是它的弊端所在。美埃心系尖端净化设备的研发,多年来投入大量的人力物力,学习国际前沿技术,并结合项目需求自主创新。EFU设备已经完全实现了国产化,结合美埃健全的生产制造、卓越的产品性能、优质的技术支持,完善的售后服务体系,赢得了众多客户认可。

  EFU现场安装图

  EFU英文全称Equipment Fan Filter Unit,即设备端风机过滤器单元。与我们常见的FFU(Fan Filter Unit) 风机过滤器单元非常相似,那么两者之间有什么区别呢?

  第一,适用场所不一样。FFU一般应用于厂务端,也就是安装在洁净室吊顶上的。而EFU/设备端风机过滤器单元,顾名思义,是安装于洁净室内的机台设备或微环境设备之上,如光刻机、STOCKER、LUL(INDEXER)、COATER、清洗机等。

  第二,EFU和FFU的安装方式不一样。FFU一般是分体式设计,设备采用自重与过滤器及吊顶龙骨实现密封安装,通常的安装形式为水平安装。而EFU安装方式相对比较复杂,主要有水平安装和垂直安装两种形式,箱体与过滤器之间通常采用螺栓螺母固定连接成一体,EFU整机与机台之间采用专用安装支架和螺栓螺母固定,连接牢固。

  除此以外,EFU设备的厚度尺寸、维护方式、控制系统、工作参数、材质要求等都与FFU有所区别。

  EFU产品特点

  系统解决方案将产品与服务有效融合,美埃不仅仅是EFU的生产厂商,也是EFU设计、安装、调试、验收等一条龙服务的系统集成供应商。

  针对老旧的机台设备进行环境改善分析,对洁净系统进行升级改造,改善现有环境以符合工艺生产的需求,使老机台焕发生机,提高产品良率。

  老旧机台改造升级的方案案例

  美埃EFU气流仿真模拟图

  部分控制系统案例

  美埃是国内最早设计生产EFU的厂家之一,并广泛服务于行业知名面板及半导体工厂,如京东方、华星光电、惠科、天马、上海微电子等尊贵客户。

  客户现场安装图

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