banner

N E W S

新闻中心

化学过滤器在半导体行业应用解析— RC难溶化合物管控篇

  • 发布时间:2022-03-11

【概要描述】美埃拥有超过20年提供空气净化解决方案的专业经验,服务于不同的行业和大量的终端客户。

化学过滤器在半导体行业应用解析— RC难溶化合物管控篇

【概要描述】美埃拥有超过20年提供空气净化解决方案的专业经验,服务于不同的行业和大量的终端客户。

  • 分类:新闻资讯
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2022-03-11 12:11
  • 访问量:
详情

  项目背景

  浙江某半导体设计及制造企业,总部位于杭州,专注于存储芯片及相关芯片的设计、制造,面向物联网、智传终端、工业控制及汽车电子领域提供半导体芯片和应用解决方案。

  芯片制造随着线宽的降低,工艺更复杂,工序更繁琐,使用的化学品种类更多。很多关键工艺(如光刻工艺)需要在特定的洁净环境下进行。除了控制常规的悬浮颗粒污染物(TSP)的浓度,还需对洁净室内直径更小的气态分子污染物(AMC)浓度进行严格控制。且在特定区域(如黄光区)还需额外注意一些难溶化合物(Refractory Compounds,RC)的管控,以确保光刻机的镜头处于良好的使用环境。

  对AMC的定义及分类

  工业洁净厂房送风一般为新风空调箱补给及循环风供应,为了控制AMC的浓度,一般会在循环风系统中的风机过滤单元(FFU)上安装化学过滤器,对洁净厂房内特定区域进行相关空气治理。本次案例为改造案例,洁净室内黄光区FFU上已安装一片式化学过滤器,用于去除酸性化合物,碱性化合物及可凝结化合物。由于业务扩展因素,增加光刻机两台,并需对洁净室内难溶化合物(RC)进行重点管控。

  产品介绍

  美埃提供了该项目现场AMC采样服务,了解到实际浓度后,在现有FFU化学过滤器产品上再搭载RC化合物去除专用过滤器Puro-F 。

  Puro-F化学过滤器外观图

  化滤安装前后RC检测浓度对比

  安装后,经第三方检测机构采样,成功将洁净室该区域RC化合物的浓度控制到0.1ppbv以下。且经过第三方检测机构对该区域RC化学物浓度的持续监测,该RC化学过滤器产品使用周期超出业主预计值三倍,达到了过滤行业领先水平。

  化学过滤器安装前RC浓度(第三方报告)

化学过滤器安装后RC浓度(第三方报告)

  RC过滤器安装前后浓度变化(第三方报告)

  美埃产品应用领域主要包括洁净室空气净化、室内空气品质优化、大气污染排放治理。下游应用领域细分主要包括半导体、生物制药、食品、医疗机构、大型商用楼宇、公共场所、家居环境 、工业除尘、VOCs 治理等。

  美埃配备投资建造千余平方米化学实验室,具备材料分析及采样分析能力,可进行阻力测试,初始效率测试,释放气体测试,发尘量测试等。配备丰裕的技术支持人员,经验丰富,可快速有效解决客户从售前,售中,到售后的相关系列问题,提供可靠的7*24小时服务。

  美埃拥有超过20年提供空气净化解决方案的专业经验,一直以提供优质的产品和服务而著称,服务于不同的行业和大量的终端客户。

推荐资讯

年终盘点 I 美埃人热烈而又珍贵的2023
查看详情 白箭头 黑箭头
二十三载净化路,科创聚力谋未来
查看详情 白箭头 黑箭头
美埃科技 | 2024 SEMI大湾区产业峰会圆满落幕
2024 SEMI大湾区产业峰会于11月13日-14日在广州康莱德酒店举办。本次峰会聚焦智能电动汽车芯片、绿色厂务、半导体先进测试技术、先进封装(异构集成)等话题,汇聚超多家企业与学者,集中展示各领域的先进研究成果。
查看详情 白箭头 黑箭头
行业热点 | 美埃科技亮相2024国际污染控制ISCC研讨会
2024年10月15-18日,意大利污染控制学会(ASCCA)代表国际污染控制学会联合会(ICCCS)在意大利米兰主办第26届ISCC国际污染控制研讨会。
查看详情 白箭头 黑箭头
更烟火的生活,更清洁的未来 | 第33届中国厨师节博览会-首届餐饮商用厨房设计大赛圆满落幕!
第33届中国厨师节暨2024中国厨师节博览会——24年首届餐饮商用厨房设计大赛,在四川宜宾国际会展中心圆满落幕。本次设计大赛由中国烹饪协会、君园商学园联合主办,中国烹饪协会餐饮供应链与新零售工作委员会、山东凯瑞股份有限公司,营建联盟合承办,美埃科技作为赞助单位受邀参加本次设计大赛。
查看详情 白箭头 黑箭头
喜报 | 美埃科技成功入选国家制造业冠军企业
近日,工信部公示《关于第八批制造业单项冠军企业和通过复核的第二批、第五批制造业单项冠军企业名单》,美埃科技成功入选工信部第八批制造业单项冠军企业。
查看详情 白箭头 黑箭头
案例篇 | 美埃环境助力中材锂膜环境治理
查看详情 白箭头 黑箭头
案例篇 | 美埃助力深圳开市客项目餐饮油烟排放治理
查看详情 白箭头 黑箭头
公众号二维码

美埃科技

公众号二维码

美埃健康

公众号二维码

美埃商用

在线搜索

搜索
搜索

推动空气净化产业发展,提升全球空气品质