产品分类
Puro-F
Puro-F
Puro-F(PF)是FFU式化学过滤器,搭配自带风机过滤单元(FFU),提供良好的气态分子过滤。Puro-F可以配合不同的滤材,去除酸、碱、有机物、硼、磷等,以达到控制气态分子污染物(AMC)目的。
产品特点
低初阻力、无递增压损
节省安装空间
简易的装卸步骤
降低洁净室内的AMC浓度
发尘量少
产品参数
适用面风速:<1.0m/s
可针对不同类型的气态分子污染物(AMC),
使用相应的滤材配方
产品应用
Puro-F系列产品是一款适用于FFU的化学过滤器。它提供优良的气态分子污染物(AMC)去除效率,为洁净的室内空气把关,进而帮助改善和提升产品的良品率。它可以搭配不同配方的化学过滤滤材,达到去除AMC(SEMI F21-1102的气态污染物分类)的效果。
以下是Puro-F主要的应用领域:
半导体-前段制程(AMC控制)
半导体-后端封测等制程(腐蚀、污染与AMC控制)
压损图
规格表
产品参数 |
PF-PCN |
PF-PAA |
PF-GAC |
PF-PHD |
标准名义尺寸 (WxHxD mm) |
1000x800x70 |
1000x800x70 |
1000x800x70 |
1000x800x70 |
额定风量(CMH) |
0~2400 |
0~2400 |
0~2400 |
0~2400 |
阻力(Pa) |
<25@0.35m/s |
<25@0.35m/s |
<25@0.35m/s |
<25@0.35m/s |
滤材面积(m2) |
8.5 |
8.5 |
8.5 |
8.5 |
过滤器箱体材质 |
镀锌板,铝 |
镀锌板,铝 |
镀锌板,铝 |
镀锌板,铝 |
护面网材质 |
铝(阳极材料),镀锌铁 |
铝(阳极材料),镀锌铁 |
铝(阳极材料),镀锌铁 |
铝(阳极材料),镀锌铁 |
垫片厚度(mm) |
5 |
5 |
5 |
5 |
目标气态分子污染物 |
酸性气态分子 |
碱性气态分子 (NH3) |
可凝性气态分子 (VOC) |
掺杂剂 |
*以上标准尺寸用于搭配4×4的FFU,2×4的FFU可选择500×800( W×H)的Puro-F产品,请联系美埃销售工程师了解进一步的详情。
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