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Puro-R

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Puro-R

Puro-R(PR)是FFU式化学过滤器,搭配自带风机过滤单元(FFU),提供良好的气态分子过滤。Puro-R可以配合不同的滤材,去除酸、碱、有机物、硼、磷等,以达到控制气态分子污染物(AMC)目的。
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产品描述
参数

  Puro-R(PR)是FFU式化学过滤器,搭配自带风机过滤单元(FFU),提供良好的气态分子过滤。Puro-R可以配合不同的滤材,去除酸、碱、有机物、硼、磷等,以达到控制气态分子污染物(AMC)目的。

  产品特点

  低初阻力、无递增压损

  简易的装卸步骤

  降低洁净室内的AMC浓度

  发尘量少

  产品参数

  适用面风速:<1.0m/s

  可针对不同类型的气态分子污染物(AMC),

  使用相应的滤材配方

  产品应用

  Puro-R系列产品是一款适用于FFU的化学过滤器。它提供优良的气态分子污染物(AMC)去除效率,为洁净的室内空气把关,进而帮助改善和提升产品的良品率。它可以搭配不同配方的化学过滤滤材,达到去除AMC(SEMI F21-1102的气态污染物分类)的效果。以下是Puro-R主要的应用领域:

  半导体-前段制程(AMC控制)

  半导体-后端封测等制程(腐蚀、污染与AMC控制)

  压损图

 

压损图

 

  规格表

产品参数

PR-PCN

PR-PAA

PR-GAC

PR-PHD

标准名义尺寸 (直径D,高H mm)

620x400

620x400

620x400

620x400

额定风量(CMH)

0~2400

0~2400

0~2400

0~2400

阻力(Pa)

<30@2400CMH

<30@2400CMH

<30@2400CMH

<30@2400CMH

过滤器箱体材质

目标气态分子污染物

酸性气态分子 (F- ,Cl- ,NOX,SOX,H2 S)

碱性气态分子 (NH3)

可凝性气态分子 (VOC)

掺杂剂 (Boron,Phosphorus)

 

  *以上标准名义尺寸是指标准全尺寸Puro-V产品,半尺寸的Puro-V产品尺寸是287×592(W×H)。详情请咨询美埃销售工程师。

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