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Puro-R

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Puro-R(PR)是FFU式化学过滤器，搭配自带风机过滤单元(FFU)，提供良好的气态分子过滤。Puro-R可以配合不同的滤材，去除酸、碱、有机物、硼、磷等，以达到控制气态分子污染物(AMC)目的。

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产品描述

参数

　　产品特点

　　低初阻力、无递增压损

　　简易的装卸步骤

　　降低洁净室内的AMC浓度

　　发尘量少

　　产品参数

　　适用面风速：<1.0m/s

　　可针对不同类型的气态分子污染物(AMC)，

　　使用相应的滤材配方

　　产品应用

　　Puro-R系列产品是一款适用于FFU的化学过滤器。它提供优良的气态分子污染物(AMC)去除效率，为洁净的室内空气把关，进而帮助改善和提升产品的良品率。它可以搭配不同配方的化学过滤滤材，达到去除AMC(SEMI F21-1102的气态污染物分类)的效果。以下是Puro-R主要的应用领域：

　　半导体-前段制程(AMC控制)

　　半导体-后端封测等制程(腐蚀、污染与AMC控制)

　　压损图

　　规格表