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FF-TCU 恒温净化单元
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产品描述
参数
FF-TCU 恒温净化单元(Fan Filter-Thermal Clean Unit)为一体式、紧凑型恒温净化单元，可用于半导体电子厂、液晶面板厂、生物医药行业等要求恒温控制的洁净环境。可直接安装于洁净室或洁净操作台上，冷源为工艺冷却水，控温精度可达±0.5℃。
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