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设备端自带风机过滤机组EFU<br />1220mm×610mm

设备端自带风机过滤机组EFU
1220mm×610mm

微电子8

微电子8

  • 产品描述
  • 产品特点:

               
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    布局可自由变更

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    洁净度可自由选择

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    单台风速可调节

     

    低噪音

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    超薄特性,易于安装,可集成化学过滤器

      控制系统可连接设备机台+厂务系统

    可应对各种规模的洁净室生产设备

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    控制系统可连接设备机台+厂务系统

         
               

     

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