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半导体工艺的尖端制程环境要求

公司核心产品风机过滤单元及空气过滤器的典型应用场景为洁净室,随着半导体芯片关键线宽尺寸缩减,

制程工艺的不断改进迭代,对空气过滤技术不断提出最严苛的要求。

企业服务

半导体线宽

企业服务

5纳米制程要求洁净度ISO Class 1

企业服务

“酸性”气体引起的电路腐蚀问题

企业服务

“碱性”气体引起的T-topping问题

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美埃风机过滤单元大规模应用,见证中国半导体产业成长

技术特点:低噪音、高效率、低能耗运行、群控系统、使用寿命长。

美埃(中国)环境科技股份有限公司

FFU

美埃(中国)环境科技股份有限公司
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美埃(中国)环境科技股份有限公司

EFU

美埃(中国)环境科技股份有限公司
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气态分子污染物控制技术,助力半导体良率提升

随着半导体芯片关键线宽尺寸缩减,制程工艺的不断改进迭代,气态分子污染物AMC ( Airborne Molecular Contamination)的控制技术已经成为半导体良率提升的必要手段。从2005年开始,美埃气态过滤解决方案一直致力服务于中国大陆的晶圆厂。除为客户提供化学滤网产品外,在南京研发中心设有化学实验室,从原材料到成品,对每一阶段进行检验测试,并在产品交付客户现场后,取样验证安装后的浓度达到应用要求,定期回访测试。

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FFU用板式离子交换纤维化学过滤器Puro-F

板式离子交换纤维

化学过滤器Puro-F

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板式改性活性碳

化学过滤器Puro-P

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箱式活性炭化学过滤器

Puro-C

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单法兰V型离子交换纤维

化学过滤器Puro-V

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炭筒

化学过滤器CT

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无法兰离子交换树脂

化学过滤器Puro-V

美埃与中国半导体行业共同成长

部分客户案例

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中芯国际(上海)14纳米制程公布良率已达业界量产水准

业务范围

重庆惠科8.6代超高清显示器件线公布良率98.5%

业务范围

上海微电子光刻设备洁净度ISO Class 1

业务范围

华星光电G11项目荣获LEED铂金级认证

业务范围

美埃是首个京东方选用替代国外品牌的供应商

业务范围

华虹自研突破28纳米剑指14纳米

大规模高速群控系统

监控>10万台FFU 丨 远端故障反馈<8秒 丨 兼容交直流风机 丨 兼容多种通讯协议 丨 自动组态技术 丨 无线控制技术 丨 优化矢量脉宽调制低谐波技术

美埃(中国)环境科技股份有限公司
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